廣東清遠高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)行政審批局擬對廣東先導微電子科技有限公司半導體芯片產(chǎn)業(yè)化項目環(huán)境影響評價文件作出批準決定的公示

發(fā)表時間： 2022-01-17 16:44 來源：廣東清遠高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)行政審批局 　　

　　根據(jù)廣東先導微電子科技有限公司半導體芯片產(chǎn)業(yè)化項目環(huán)境影響評價文件、技術評估報告等，按照建設項目環(huán)境影響評價審批程序的有關規(guī)定，我審批機構(gòu)擬對該項目環(huán)境影響評價文件作出批準決定。為體現(xiàn)公開、公正的原則，強化公眾參與，現(xiàn)予公示。公示期5個工作日（2022年01月17日至2022年01月21日）。如有意見，請在公示期內(nèi)來信或來電向我審批機構(gòu)反映。

　　聯(lián)系地址：清遠市清城區(qū)廣清大道113號清城區(qū)政務服務中心3樓6號窗，郵編：511500

　　聯(lián)系電話：0763-3665506

　　傳 真：0763-3665566

　　聽證告知：依據(jù)《中華人民共和國行政許可法》第四十七條的規(guī)定，自公示之日起五個工作日內(nèi)申請人及有關利害關系人可對我審批機構(gòu)擬作出的決定提出聽證申請。

項目名稱	廣東先導微電子科技有限公司半導體芯片產(chǎn)業(yè)化項目
建設地點	清遠高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號ji（即清遠先導材料有限公司廠區(qū)內(nèi)）
建設單位	廣東先導微電子科技有限公司
項目概況	利用先導廠區(qū)在建的芯片車間（原砷車間）新增設備建設年產(chǎn)10000萬顆射頻芯片（PA）、4500萬顆光通訊芯片（PD）生產(chǎn)線及年產(chǎn)3000萬顆器件（芯片）封裝生產(chǎn)線、2000萬個光通訊模塊生產(chǎn)線的半導體芯片產(chǎn)業(yè)化項目。
環(huán)評機構(gòu)	湖南新瑞智環(huán)境科技有限責任公司
主要環(huán)境影響及預防或減輕不良環(huán)境影響的對策和措施	（一）環(huán)境空氣保護措施及環(huán)境影響   根據(jù)《報告表》，本項目產(chǎn)生的廢氣主要為光刻（含光刻、BCB光刻及SiO2光刻）、有機清洗（含剝離、去膠清洗、去蠟清洗）過程中產(chǎn)生的有機廢氣（NMHC）；無機酸洗、刻蝕過程中產(chǎn)生的酸霧；沉積過程中產(chǎn)生的廢氣（氮氧化物）；烘烤、塑封、焊接等過程中產(chǎn)生的有機廢氣（NMHC）；焊接、烘烤過程中產(chǎn)生的顆粒物（錫及其化合物）；貼片烘烤過程中產(chǎn)生的有機廢氣（NMHC）。   光刻廢氣由密閉設備直接通過管道收集，有機清洗工序產(chǎn)生的有機廢氣通過半封閉集氣罩收集，一并經(jīng)一套二級活性炭吸附裝置（TA002）處理后，由20米高排氣筒（DA002）排放。非甲烷總烴排放執(zhí)行廣東省地方標準《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二時段二級標準及無組織排放監(jiān)控濃度限值。   蝕刻廢氣、沉積廢氣由密閉設備直接通過管道收集，無機清洗工序產(chǎn)生的有機廢氣通過半封閉集氣罩收集，一并經(jīng)一套堿液噴淋塔（TA001）處理后，由20米高排氣筒（DA001）排放。硫酸霧、磷酸霧、氟化物、氯化氫、氮氧化物排放執(zhí)行廣東省地方標準《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二時段二級標準及無組織排放監(jiān)控濃度限值。   烘烤廢氣由密閉設備直接通過管道收集，塑封、焊接廢氣通過通風櫥收集，一并經(jīng)一套二級活性炭吸附裝置（TA003）處理后，由20米高排氣筒（DA003）排放。錫及其化合物、非甲烷總烴排放執(zhí)行廣東省地方標準《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二時段二級標準及無組織排放監(jiān)控濃度限值。   廠區(qū)內(nèi)有機廢氣排放還應達到《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》（GB 37822-2019）表A.1 廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值的特別排放限值要求。   根據(jù)《報告表》分析，項目廢氣污染物達標排放，對周邊大氣環(huán)境影響較小。 （二）地表水環(huán)境保護措施及環(huán)境影響   根據(jù)《報告表》，本項目營運期產(chǎn)生的廢水主要為酸洗廢水、有機廢水、研磨廢水、切割廢水、清洗廢水、噴淋廢水以及員工生活污水。   員工生活污水經(jīng)三級化糞池、食堂含油污水經(jīng)隔油隔渣池預處理，達到廣東省地方標準《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標準與龍?zhí)廖鬯幚韽S進水水質(zhì)指標中的較嚴格者后排入市政污水管網(wǎng)，進入龍?zhí)廖鬯幚韽S處理，尾水排入大燕河。   酸洗廢水、有機廢水通過“隔油+A/O”廢水處理設施預處理、清洗廢水通過隔油預處理后，與噴淋塔廢水一并依托先導廠區(qū)“化學處理+混凝沉淀+2#MVR”處理，達到《無機化學工業(yè)污染物排放標準》（GB 31573-2015）間接排放標準、《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB 39731-2020）表1 間接排放限值及龍?zhí)廖鬯幚韽S進水水質(zhì)標準的較嚴值后，一并由清遠先導材料有限公司排放口（WS-OR00688）排入市政污水管網(wǎng)，進入龍?zhí)廖鬯幚韽S處理，尾水排入大燕河。   研磨廢水、切割廢水經(jīng)化學沉淀預處理達到《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB 39731-2020）表1中“總砷”排放限值后依托先導廠區(qū)1#MVR處理達到《城市污水再生利用 工業(yè)用水水質(zhì)》（GB/T 19923-2005）敞開式循環(huán)冷卻水系統(tǒng)補充水標準后，回用于先導廠區(qū)冷卻循環(huán)水補充水，不外排。   根據(jù)《報告表》分析，項目廢水污染物達標排放，對周圍地表水環(huán)境影響較小。 （三）聲環(huán)境保護措施及環(huán)境影響   根據(jù)《報告表》，項目噪聲污染源主要來源于各車間生產(chǎn)設備運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的機械噪聲，噪聲源等效聲級在70~75dB(A)之間。   項目擬選用低噪聲設備，廠區(qū)合理布局、合理安排生產(chǎn)時間，采取隔聲、減振措施，加強噪聲設備的維護管理，降低噪聲對周圍環(huán)境的影響。   根據(jù)《報告表》分析，項目的邊界噪聲可達到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類聲環(huán)境功能區(qū)排放限值，對周圍環(huán)境影響較小。 （四）固體廢物污染治理措施及環(huán)境影響   根據(jù)《報告表》，產(chǎn)生的固廢主要為員工生活垃圾、一般工業(yè)固廢及危險廢物。   項目員工的生活垃圾分類收集后，統(tǒng)一交由環(huán)衛(wèi)部門及時清運處置；廢樹脂、焊渣、廢載具、生化污泥分類收集后定期交由專業(yè)公司回收處理；廢硫酸、廢磷酸、廢顯影液、廢去膠液、有機廢液、不合格芯片、含氟廢液、砷化鎵碎屑、不合格產(chǎn)品、廢膠水、廢活性炭、廢包裝材料、隔油池廢油、含砷污泥等等屬于危險廢物，交由具有危險廢物處理資質(zhì)的單位處置。
公眾參與情況




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